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產(chǎn)品中心ULVAC日本愛發(fā)科VPC-1100跨境現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：VPC-1100
更新時(shí)間：2025-11-12
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：98
服務(wù)熱線158-1555-0998
產(chǎn)品分類
跨境現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
跨境現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
ULVAC
將架臺(tái)上的油擴(kuò)散泵，油回轉(zhuǎn)泵，皮拉尼真空計(jì)，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測(cè)量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時(shí)蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。
更改為EB規(guī)格，可成膜高熔點(diǎn)的材料。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動(dòng)更為容易。
帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的安全性。
| model | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)） |
| 排氣時(shí)間 | 4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa臺(tái)/10min（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ390mm×高350mm) |
| 饋通圈 | 20端口(側(cè)面14/底面6) | |
| 基板推薦尺寸?最大尺寸※1 | □50mm ? □220mm（Max） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極構(gòu)成 | 3點(diǎn)式 |
| 蒸發(fā)電源?數(shù)量 | SEREM PSE-150C?1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵※2 | 油擴(kuò)散泵（水冷） 1100L/sec |
| 液體氮?dú)獠都?/span> | 有 | |
| 補(bǔ)助泵 | 油回轉(zhuǎn)泵 200L/min、2臺(tái) | |
| 油霧捕集器 | 選項(xiàng) | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 蝶閥 |
| 補(bǔ)助閥 | 三通閥 | |
| 自動(dòng)泄露閥 | 選項(xiàng) | |
| 操作 | 手動(dòng) | |
| 控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計(jì) | GP-1G |
| 電離真空計(jì) | 選項(xiàng) | |
| 設(shè)置 | 最大尺寸 本體 | 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
| 電源 | 設(shè)備本體收納 | |
| 質(zhì)量 本體 | 313kｇ | |
| 電源 | 設(shè)備本體收納 | |
※1：最大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時(shí)的值。
※2：準(zhǔn)備了分子泵（TMP）的規(guī)格
| 型式 | VPC-1100 | |
| 所要時(shí)間 | 本體 | 200V 3相 50/60Hz 5.0kVA |
| 電源 | 100V 單相 50/60Hz 1.0kVA | |
| 接地端子 | Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 組合連接 | 本體 3Φ 200V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶R3.5-4壓著端子） 4m |
| 電源 1Φ 100V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 4m | |
| 所要水量 | 1.5 L／min （水溫：20～25℃、水圧：200kPa （表壓）） | |
| 組合連接 （ソケット） | Rp1/4 （帶有可觸摸式配件） | |
| 推薦軟管※ | 滌綸軟管（內(nèi)徑9mm×外徑15mm） | |
※冷卻水配管，請(qǐng)客戶自行準(zhǔn)備。
