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產(chǎn)品型號(hào)：COVOT-CR4
更新時(shí)間：2025-11-12
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：93
服務(wù)熱線158-1555-0998
產(chǎn)品分類
原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機(jī)器人
原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機(jī)器人
可搬運(yùn)多片晶圓的高吞吐量真空傳送機(jī)器人
ULVAC
COVOT-6-X5
COVOT-CR4
有多種臂可供選擇，以適應(yīng)行程、轉(zhuǎn)彎半徑、傳輸板的數(shù)量等。
COVOT-CR4 由于其磁流體密封，可在 10-6 Pa 的高真空中使用。
| 型 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 | |
| 工作壓力區(qū)域 | 氣壓～10-1Pa | 氣壓～10-6Pa | |
| 晶圓尺寸 | 200mm/300mm | 200mm/300mm | |
| 持有的晶圓數(shù)量 | 4枚 | 2枚 | |
| 最大范圍 * | 880mm | 1050mm | |
| 旋轉(zhuǎn)角度 | 360° 無窮 | ±180° | |
| 提升行程 | 110mm | 120mm | |
| 最小旋轉(zhuǎn)直徑 * | 980mm | 960mm | |
| 有效載荷能力（包括手） | 1kg | 1kg | |
| 操作速度 | 伸縮式 | Max 1.5sec / 全行程 | 最大限度 1.5sec/780mm |
| 把 | Max 2.0sec / 180° | Max 2.0sec / 180° | |
| 提升 | Max 1.5sec / 20mm | Max 3.5sec / 105mm | |
| 可重復(fù)位置精度 | 伸縮式 | ±0.1mm | ±0.1mm |
| 把 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 提升 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 示教器 | 歸屬感 | 歸屬感 | |
| 控制器 | 分開 | 分開 | |
